在半导体制造向更小制程节点、更高集成度持续演进的进程中，温度控制正成为决定晶圆良率与设备稳定性的关键变量。无论是干法蚀刻中的等离子体环境，还是探针测试中的精密检测环节，冷却液的综合性能都直接影响制程精度、设备寿命与产品可靠性。2026年8月26日至28日，INVENTEC Performance Chemicals欧纷泰化工（上海）有限公司（以下简称“INVENTEC欧纷泰”）携技术专家团队亮相深圳PCIM展会，重点展示THERMASOLV CF/IM系列半导体干法蚀刻及探针测试专用冷却液，以超高绝缘、化学稳定、环保低碳的核心优势，为半导体核心制程提供精准控温方案。
展会现场：技术专家团队面对面交流
深圳PCIM展会作为功率半导体与电子制造领域的重要平台，汇聚了晶圆制造、封装测试、设备材料等产业链关键环节的众多企业。INVENTEC欧纷泰此次参展，不仅带来THERMASOLV CF/IM系列产品，更派出资深技术专家团队现场坐镇，围绕冷却液在干法蚀刻、探针测试等场景中的选型逻辑、使用要点与替换方案，与到场观众展开深入交流。展位现场吸引了大量来自晶圆厂、测试设备厂商与半导体材料领域的专业观众，针对冷却液的绝缘性能、材料兼容性与环保合规等话题进行了热烈探讨。
制程适配：覆盖晶圆制造与干法蚀刻核心环节
THERMASOLV CF/IM系列专为半导体晶圆制造、干法蚀刻等核心制程研发，能够适配等离子体蚀刻、反应离子蚀刻等对温度敏感度极高的工艺场景。在蚀刻过程中，温度波动会直接影响蚀刻速率、侧壁形貌与选择比，进而造成制程偏差与良率损失。THERMASOLV CF/IM系列可精准控制蚀刻制程温度，有效规避高温导致的晶圆损伤、制程偏差与良率下降等问题，为高精度图形转移提供稳定的热管理保障。
性能优势：超高绝缘与化学稳定并重
该系列冷却液具备超高绝缘性，可有效避免在高压、高频工艺环境中出现漏电、击穿等风险，保障设备与晶圆安全。其化学性质稳定，无腐蚀、低挥发、高洁净度，在长期循环使用中不易发生分解、氧化或产生沉积物，从而减少对制程环境的污染。对于干法蚀刻这类对洁净度要求极为严苛的工艺而言，THERMASOLV CF/IM系列的低挥发与高洁净特性，能够显著降低颗粒与有机污染物引入的风险，维护制程腔体的洁净水平。
环保先行：极低GWP，理想的3M冷却液替换品
在全球半导体行业加速推进绿色制造的背景下，冷却液的环保性能日益受到重视。THERMASOLV CF/IM系列具有极低的GWP值（全球变暖潜能值），环保性极佳，能够帮助企业满足日趋严格的环保法规与可持续发展要求。同时，该系列产品被定位为理想的3M冷却液替换品，为正在寻找可靠替代方案的半导体厂商提供了经过验证的新选择，在性能、安全与环保之间实现平衡。
测试场景：探针台与精密检测设备的散热利器
除干法蚀刻外，THERMASOLV CF/IM系列还专为芯片探针台、半导体精密检测设备、电子测试仪器研发。在晶圆测试与芯片验证环节，探针台需要长时间保持稳定的温度环境，以确保测试数据的准确性与重复性。该系列冷却液降温高效、散热均匀，具备不易结垢、无杂质析出、不腐蚀设备等优势，可有效延长设备维护周期，降低停机风险。目前，该产品已在各大测试机品牌方得到验证，获得了设备厂商与终端用户的认可。
应用前景：为半导体精密制造提供稳定热管理
随着先进制程不断推进，干法蚀刻与探针测试对冷却液的要求将持续提升。INVENTEC欧纷泰THERMASOLV CF/IM系列凭借超高绝缘、化学稳定、低挥发、高洁净与极低GWP等综合优势，正成为半导体核心制程热管理的重要选择。此次亮相深圳PCIM展会，不仅展示了INVENTEC欧纷泰在半导体冷却液领域的技术积累，也为行业提供了兼顾性能与环保的替换方案。
结语
从蚀刻制程的精准控温，到探针测试的均匀散热，从材料兼容到环保合规，INVENTEC欧纷泰THERMASOLV CF/IM系列以系统性性能优势回应了半导体制造对冷却液的高标准要求。未来，INVENTEC欧纷泰将继续深耕半导体专用冷却液领域，携手产业链伙伴，共同推动晶圆制造与精密测试向更高良率、更高可靠性、更绿色环保的方向迈进。
